FAC-300 | Analog Kütle Akış Kontrol
FAC 320 Analog Serisi Kütle Akış Kontrol Cihazları ve Ölçüm Cihazı
FAC 320 Analog Serisi Kütle Akış Kontrol Cihazları ve Ölçüm Cihazları
- Tam Ölçekli Akış Aralığı: 10sccm-30slm
- Maksimum Basınç Değeri: 500 Psi / 30 Bar
- Tekrarlanabilirlik: ±0,2% FS
- Kontrol Aralığı: %2~100 FS
- Yanıt Süresi: <1 saniye
- Çalışma Sıcaklığı: 0~50℃
- Dijital İletişim: RS-485
- Analog İletişim: 0~5 V / 4~20mA
FAC-320 Analog Serisi Kütle Akış Kontrol Cihazı ve Ölçüm Cihazlarının Tanımı
FAC serisi, kılcal termal sıcaklık farkı sensörü kullanır ve ölçüm doğruluğu sıcaklık ve basınçtan etkilenmez. Altlık, zehirli ve aşındırıcı gazlar için uygun olan 316L paslanmaz çelikten yapılmıştır ve maksimum çalışma basıncı 750 Psi'ye ulaşabilir. Sektör lideri uzun vadeli kararlılık, uluslararası standartlara uygun birincil kalibrasyon sistemlerini kullanan üstün metroloji sistemleri ve yöntemleriyle desteklenen hassasiyet ve çok çeşitli analog giriş/çıkış seçenekleri sunar. FAC serisi, CE ve RoHS sertifikalarını almıştır ve düşük maliyetli uygulamalar için en iyi çözümdür.
Biosflows FAC-300 Analog Serisi Kütle Akış Kontrol Cihazı ve Ölçüm Cihazlarının Özellikleri
| Performans | |
|---|---|
| Akış Doğruluğu | ±%0,8 RD ve ±%0,2 FS; ±%1 RD ve ±%0,5 FS (>100 SLM) |
| Tekrarlanabilirlik | ±0,2% FS |
| Kontrol Aralığı | 1~100% FS |
| Yanıt Süresi | <1s |
| Sıcaklık Katsayısı | Sıfır: FS/℃'nin %0,05'inden az. Aralık: SP/℃'nin %0,1'inden az. |
| Basınç Katsayısı | SP / Bar'ın %0,2'si |
| Çalışma Sıcaklığı | 0~50℃ |
| Sızıntı Oranı | 1x10-9 atm. cc/sn He |
| Ön Isıtma Süresi | 5 dakikada ±%2 FS doğruluk (en iyi doğruluğa ulaşmak için 30 dakika) |
| Güç Kaynağı | +15~24 V DC |
| Maksimum Güç Tüketimi | 10W (MFC); 3W (MFM) |
| Dijital İletişim | RS-485 (Modbus RTU protokolü) |
| Analog İletişim | 0~5 V / 4~20mA |
| Elektriksel Arayüz | 9 Pinli D Konnektör (Erkek) |
| Vana Tipi | Normalde kapalı (MFM anlamsız) |
| Altlık Malzemesi | 316L paslanmaz çelik |
| Sızdırmazlık Malzemesi | Flor kauçuk, EPDM kauçuk, nitril kauçuk |
| İşlem bağlantıları | Tüp/VCR Bağlantı Parçaları |
Geniş bir süreç ve uygulama yelpazesinde uzun vadeli istikrar ve doğruluk kanıtlanmıştır.
Yıllık %0,2'den daha az tam ölçekli varyasyonla uzun vadeli sıfır noktası kararlılığı; düşük ayar noktalarında yüksek doğruluk için mükemmel sinyal-gürültü oranı performansı ve geliştirilmiş sensör üretim ve yakma testi süreçleri sayesinde mükemmel uzun vadeli kararlılık.
Kullanıcı ayarlarındaki komutlara göre hızlıca yanıt verin.
Kılcal çip sensör teknolojisinin, sürtünmesiz valf teknolojisi ve elektronik teknolojiyle birleşimi, ürünün komut değişikliklerine ve aşırı tepkilere (ihmal edilebilir düzeyde düşük tepki) hızlı bir şekilde yanıt vermesini sağlar.
Zehirli ve aşındırıcı gazlara karşı üstün uyum yeteneği
Kılcal termal sıcaklık farkı sensörü, aşındırıcı gazların erozyonunu etkili bir şekilde izole eder. Altlık 316L paslanmaz çelikten yapılmıştır ve kimyasal korozyona dayanıklı valf, zehirli ve aşındırıcı gazlara karşı üstün uyum yeteneğine sahiptir.
Kurulumu, kullanımı ve bakımı kolaydır.
Sökülebilir akış sensörü kullanıldığı için hava basıncının sürekli izlenmesi ve yeniden ayarlanmasına gerek yoktur ve montaj açısından etkilenmez. Analog değer yalnızca giriş/çıkış olduğu için mekanik ve elektriksel tasarım açısından diğer kütle akış kontrol cihazlarıyla uyumludur.
FAC-320 Analog Serisi Kütle Akış Kontrol Cihazı ve Ölçüm Cihazlarının Uygulaması
Plazma Gaz Kontrol Uygulamaları
Plazma bölümü doğru ve tekrarlanabilir gaz akışına ihtiyaç duyarken, optik bölüm tekrarlanabilir bir temizleme gazı akışına ihtiyaç duyar. Ayrıca, gaz dağıtım cihazının kompakt ve tercihen mümkün olduğunca düşük maliyetli olması gerekir. Kütle akış kontrolörleri, 1,5 SLM ile 20 SLM aralığında doğru ve tekrarlanabilir akış sağlar. Doğruluk, reaktör içeriğinin doğru bileşime sahip olması için çok önemlidir.
Bira üretim sürecinde gaz tedarik sistemi
Akış kontrol çözümlerinden önce, işlem, silindir üzerindeki bir vanayı açarak sisteme oksijen akışını kontrol etmek ve ardından bira üretim tankına oksijen akışını zamanlamakla sınırlıydı. Bu kaba tahmin, aşırı veya yetersiz oksidasyon nedeniyle partiden partiye tutarsız bira kalitesine yol açabilir. Kütle akış kontrolörleri kullanarak bira üretim tankına tam olarak gerekli miktarda oksijen verilmesi, her partinin kalitesini artırır ve ayrıca israf edilen fazla oksijen miktarını ve ek temizlik ve numune alma süresinin maliyetini azaltır.
Elmas hazırlama işleminin uygulanması
Elmas ince filmlerin üretiminde kullanılan yaygın yöntemlerden biri, uygun gaz hacmini ve işlem tekrarlanabilirliğini sağlamak için kütle akış kontrolörleri ile birlikte kullanılan sıcak tel buhar biriktirme tekniğidir; aksi takdirde, elde edilen filmlerin homojenliği ve genel kalitesi büyük ölçüde azalacaktır. İşlem gazlarının yanıcılığı ve patlayıcılığı güvenlik endişesi yarattığından ve yakından kontrol edilip izlenmesi gerektiğinden, enstrümantasyonun çok güvenilir olması ve analog veya dijital iletişime sahip olması gerekir. Termal kütle akış kontrolörleri, bu uygulamalarda veya buhar fazında büyütülen elmas içeren diğer herhangi bir büyüme işleminde ayrılmaz bir rol oynar.
Biosflows FAC-320 Analog Kütle Akış Kontrol Cihazı ve Ölçüm Cihazı Prensibi
Sensör Şeması
Termal kütle akış ölçerinin (MFM) temel sensörü, termal sensör ve ısıtma elemanı içeren paslanmaz çelik bir kılcal borudan oluşan kılcal termal sıcaklık farkı prensibine dayanmaktadır. Gazın bir kısmı baypas sensöründen geçer ve ısıtma elemanı tarafından ısıtılır. Gaz akışı, sensörden geçen kütle akışıyla orantılı asimetrik bir sıcaklık dağılımına neden olur.
MFC Yapı Şeması
Termal kütle akış kontrol cihazının (MFC) ana akış kanalı, laminer akış elemanı tarafından mükemmel bir şekilde şöntlenir, böylece sensörün çıkışı toplam kütle akışıyla doğrusal bir ilişkiye sahip olur. Sensörün çıkış sinyali yükseltilir ve kullanıcı tarafından ayarlanan sinyalle karşılaştırılır, solenoid valfin açılması PID algoritması ile kontrol edilir, akış ayarlanır ve kütle akışının kapalı döngü kontrolü gerçekleştirilir.
